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题目内容（请给出正确答案）

[单选题]

磁控溅射工艺主要用于制作微型器件的（)。

A.二氧化硅层

B.氮化硅层

C.光刻胶层

D.金属层

答案

A、二氧化硅层

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第1题

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微型传感器是MEMS最主要的器件类型。（)

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